南京誠芯集成電路技術研究院有限公司專利技術

南京誠芯集成電路技術研究院有限公司共有2項專利

  • 本發明公開了倒梯形或T型結構的工藝質量評估方法及系統,設計與目標圖層對標的前層衍射套刻結構和目標圖層的衍射套刻結構,目標圖層的衍射套刻結構沿平行前層衍射套刻結構方向偏移相同的套刻偏移量;光刻和刻蝕獲取目標需要的倒梯形結構或T型結構;進行...
  • 本發明的一種基于機器學習確定光刻系統焦面位置的方法,包括以下步驟:S1:選取焦面位置測量標記,于標定的光刻系統中,在已知的不同焦面位置曝光,記錄位置,利用光刻空間像傳感器采集并記錄光刻空間像的二維分布;S2:將有光刻空間像有效結果分為訓...
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